ES640系列自动化(CDM)测试系统

充电设备模型(CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的C​​DM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时,通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。

ES640系列自动化(CDM)测试系统是一种自动化的充电设备模型(CDM)测试仪,旨在满足所有流行的CDM测试方法,支持场感应空气放电方法(FICDM)和接触优先(CCDM)方法。该系统包括计算机,环境控制室,精确的XYZ运动控制系统,不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。

  特点

  • 高分辨率摄像头(最多3个)可轻松进行引脚对齐操作
  • 高分辨率运动控制系统(步长低至1 µm)
  • 允许批量测试多个设备
  • 正在申请专利的CCDM方法具有更好的可重复性
  • 密闭的环境室提高了干燥单元的效率
  • 支持再生干燥单元(无需氮气)

描述

ES640系列自动化(CDM)测试系统数据手册 (PDF)

1.    描述

充电设备模型(CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的C​​DM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时,通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。

ES640系列自动化(CDM)测试系统是一种自动化的充电设备模型(CDM)测试仪,旨在满足所有流行的CDM测试方法,支持场感应空气放电方法(FICDM)和接触优先(CCDM)方法。该系统包括计算机,环境控制室,精确的XYZ运动控制系统,不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。

2.    特点

  • 高分辨率摄像头(最多3个)可轻松进行引脚对齐操作
  • 高分辨率运动控制系统(步长低至1 µm)
  • 允许批量测试多个设备
  • 正在申请专利的CCDM方法具有更好的可重复性
  • 密闭的环境室提高了干燥单元的效率
  • 支持再生干燥单元(无需氮气)

3.    应用

  • 用于封装和晶圆级测试的通用充电设备模型(CDM)系统
  • 支持许多流行的最新CDM方法:
    • ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 (FICDM)
    • AEC Q100-011 Rev-D (2019 Ver. follows JS-002)
    • AEC Q101-005 Rev-A (2019 Ver. follows JS-002)
    • ANSI/ESD SP5.3.3-2018 (LI-CCDM, vf-TLP required)
    • CC-TLP (ESDA SP pending, vf-TLP required)
    • Patent pending RP-CCDM method
    • Legacy and customized solutions available upon request
  • 机器人CBM(带电板型号)和平板ESD测试的可自定义尺寸

4.    参数

参数 ES640-150 ES640-300 Units Comments
XY 测试区 ≥ 150 X 150 ≥ 300 X 300 mm 可定制
Z 行程 ≥ 50 ≥ 150 mm
X, Y, Z 步长 100 nm
复位重复能力 ≤ ±6 μm
测试电压范围 ±5 to 2000 or 4000 V 可定制
测试电压阶跃 1 V
测试电压精度 ± ≤ 1 %
XY 分辨率 1280 X 720 Pixel
Vertical 分辨率 2592 X 1944 Pixel 自动对焦
运行温度 10 to 40 (°C)
运行湿度 10 to 80 %
电压 120-240 VAC, 50/60 Hz VAC