描述
ES62X-SSM 系统开关模块数据手册 (PDF)
1. 介绍
ES62x-SSM (ES62X-LTKSEM、A621-LTKSEM) 系统开关模块 用于TLP脉冲IV曲线测试与DC特性测试的自动切换。当开关处于常闭状态时，TLP脉冲注入到DUT端，IV曲线测试系统采集DUT的脉冲IV曲线，同时，电压测量分压探头连接至示波器，获取DUT端的电压波形。当开关处于常开状态时，DUT连接至源测量单元（Source Measurement Unit, SMU)，电压分压探头处于开路状态，因此不提供SMU测量时的任何其他回路路径。ES62x-SSM自身的摩擦带电量很低，因此适用于极敏感低压（几伏甚至更低）器件，例如高端CMOS或MMIC工艺技术。
2. 特性
- 为高性能VF-TLP/TLP/HMM 系统设计
- 低摩擦带电 (几伏甚至更低 )
- DC-18 GHz 带宽
- 2个同步切换的SPDT通道
- 6个SMA接口
- LED开关切换指示
- 可用于高达3 kV/120 A 1000 ns TLP系统
- 高可靠性开关寿命超过 1百万次
3. 应用
- 通用型测试系统开关模块
4. 规格
| 参数 | 值 | 单位 | 备注 |
| 工作带宽 | DC-18 | GHz | 见第三页图S参数 |
| 特性阻抗 | 50 | Ω | |
| 插入损耗 | < 0.8 | dB | 作为电压测量和DUT脉冲注入路径时 |
| 击穿电压 | > 3 | kV | 为3 kV或120 A 1000 ns TLP系统设计 |
| 摩擦起电 | < 5 | V | 测试值 < 2 V, <1 ns （ 25 °C ，湿度30 % 条件下） |
| 切换时间 | < 20 | ms | 可靠切换次数超过一百万次 |
| 尺寸 | 120 X 50 X 40 | mm | 包括SMA接口 |
| 重量 | 0.215 | kg |
注: 在高频测试中，例如TLP, vf-TLP, HMM, HBM, 低压浪涌测试中，建议在DUT的回路上增加共模抑制器。应根据实际的测试设置和注入脉冲的形状选择恰当的共模抑制器结构。
5. 订购信息
| 零件号/选项 | 说明 | |
| 1 | ES62X-SSM | DC-18 GHz 系统开关模块 |
6. 相关/可选 漏电测试装置
| 零件号/选项 | 说明 | |
| 1 | ES62x-LTP | 漏电测试SMU ESD保护器 |
