ES62X-CPW 晶圆级TLP测试SOLZ 校准板

特点:

  • 基板质量高,适用于 TLP/VF-TLP系统晶圆级校准
  • 探针间距范围:40 µm (或 200 µm) 至 3 mm
  • 12种高精度电阻,阻值分别为: 0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 20, 49.9, 100, 200 和499 Ω,适用于TLP电流测量通道校准
  • 6种参考齐纳二极管,击穿电压分别为:2.4, 5.1, 10, 20, 33, 和110 V,适用于电压测量通道校准
  • 2种瞬态电压抑制器 (TVS),作为 TLP/VF-TLP 系统校准后的测量参考
  • 84个开路,84个短路测试结构

选项:

测试探针间距:30μm / 150μm

描述

 ES62X-CPW 晶圆级 TLP测试 SOLZ 校准板数据手册 (PDF)

1.    介绍

TLP测试的部分误差是由探针的接触电阻、连接损耗和不匹配,衰减器衰减倍数不精准,示波器直流偏置以及量程误差导致的。这些误差可以通过短路-开路-负载-稳压(Short-Open-Load-Zener, SOLZ)校准来降低 (参考 ESDA TR5.5-02-08 Transmission Line Pulse Round Robin)。根据需要测量的被测器件(device under test, DUT)特性,以及需要测量的电压、电流范围,可适当选择ES62X-CPW校准板上不同数值的参考器件进行校准。

测试板的基板材质为FR4, 顶层镀金。测试板的探测间距为30 µm 或 150 µm (取决于模块) ,可匹配探针间距为40 µm 至 3 mm。 基板尺寸为30 mm x 30 mm。校准件总高度为2.5 mm(包括参考器件的高度 )。基片放置在保护壳内。 该校准板有规格说明书。

2.    特点

  • 基片质量高,适用于TLP/VF-TLP系统晶圆级测试校准
  • 探针间距范围:40 µm (或 200 µm) 至 3 mm
  • 12个高精度电阻:0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 20, 49.9, 100, 200 和499 Ω,用于校准TLP测试电流测量通道
  • 6个参考齐纳二极管,击穿电压:2.4, 5.1, 10, 20, 33, 和110 V,用于校准电压测量通道
  • 2个瞬态电压抑制器 (TVS) ,作为TLP/VF-TLP 系统校准后的测量参考
  • 84个开路,84个短路测试结构

3.    应用

  • 晶圆级TLP测试SOLZ校准

4.    规格

参数 ES62X-CKW-1 ES62X-CKW-2 单位 备注
电阻阻值 0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 20, 49.9, 100, 200, 499 1 % 误差 (共12个)
齐纳二极管击穿电压 2.4, 5.1, 10, 20, 50, 110 V
TVS #1反向击穿电压 6 V 精确值见校准板
TVS #1最大TLP注入电流 >40 A TLP测试脉宽为100 ns
TVS #2反向击穿电压 7.5 ± 1 V 精确值见校准板
TVS #2最大TLP注入电流 >100 A
金属表面处理 镀金 NA
测试衬垫间距 150 (± 25) 30 (±5) µm

5.    订购信息

 选项 # 说明
1 ES62X-CKW-1 晶圆级TLP测试 SOLZ 校准板, 150 µm 间距, 探针间距可调
2 ES62X-CKW-2 晶圆级TLP测试 SOLZ 校准板, 30 µm 间距, 探针间距固定

可根据客户需求定制

其他信息

测试探针间距

30 µm, 150µm

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