ES62X-CPW 晶圆级TLP测试SOLZ 校准板

描述

 ES62X-CPW 晶圆级 TLP测试 SOLZ 校准板数据手册 (PDF)

1.    介绍

TLP测试的部分误差是由探针的接触电阻、连接损耗和不匹配，衰减器衰减倍数不精准，示波器直流偏置以及量程误差导致的。这些误差可以通过短路-开路-负载-稳压（Short-Open-Load-Zener, SOLZ）校准来降低 (参考 ESDA TR5.5-02-08 Transmission Line Pulse Round Robin)。根据需要测量的被测器件（device under test, DUT）特性，以及需要测量的电压、电流范围，可适当选择ES62X-CPW校准板上不同数值的参考器件进行校准。

测试板的基板材质为FR4, 顶层镀金。测试板的探测间距为30 µm 或 150 µm (取决于模块) ，可匹配探针间距为40 µm 至 3 mm。 基板尺寸为30 mm x 30 mm。校准件总高度为2.5 mm（包括参考器件的高度 ）。基片放置在保护壳内。 该校准板有规格说明书。

2.    特点

• 基片质量高，适用于TLP/VF-TLP系统晶圆级测试校准
• 探针间距范围：40 µm (或 200 µm) 至 3 mm
• 12个高精度电阻：0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 20, 49.9, 100, 200 和499 Ω，用于校准TLP测试电流测量通道
• 6个参考齐纳二极管，击穿电压：2.4, 5.1, 10, 20, 33, 和110 V，用于校准电压测量通道
• 2个瞬态电压抑制器 (TVS) ，作为TLP/VF-TLP 系统校准后的测量参考
• 84个开路，84个短路测试结构

3.    应用

• 晶圆级TLP测试SOLZ校准

4.    规格

参数	ES62X-CKW-1		ES62X-CKW-2	单位	备注
电阻阻值	0.1, 0.2, 0.51, 1, 2, 4.99, 10, 20, 49.9, 100, 200, 499			Ω	1 % 误差 (共12个)
齐纳二极管击穿电压	2.4, 5.1, 10, 20, 50, 110			V
TVS #1反向击穿电压	6			V	精确值见校准板
TVS #1最大TLP注入电流	>40			A	TLP测试脉宽为100 ns
TVS #2反向击穿电压	7.5 ± 1			V	精确值见校准板
TVS #2最大TLP注入电流	>100			A
金属表面处理	镀金			NA
测试衬垫间距	150 (± 25)	30 (±5)		µm

5.    订购信息

	选项 #	说明
1	ES62X-CKW-1	晶圆级TLP测试 SOLZ 校准板, 150 µm 间距, 探针间距可调
2	ES62X-CKW-2	晶圆级TLP测试 SOLZ 校准板, 30 µm 间距, 探针间距固定

可根据客户需求定制