ES62X-CMPS 便携式手动探针台

ES62X-CMPS便携式手动探针台可用于晶圆探针测量。该产品可靠性高,设计紧凑,价格实惠。测量的晶圆尺寸可达300 mm。该探针台还可用于TLP, HMM, HBM,低压浪涌, RF, S参数,以及 DC测量。探针台可与带真空泵和磁力支架的微调器配合使用,底部的绝缘卡盘有真空吸口,用于固定晶圆片。多个4 mm尺寸接头可从背面为晶圆提供电压偏置。

 

特点:

  • 便携式手动晶圆探针台
  • 背面带真空吸口和晶圆偏置电位接头的绝缘卡盘
  • 三目立体显微镜:3.5倍 – 90倍
  • 附带5百万像素摄像头及配套软件
  • 超耐用LED环形灯
  • 高可靠性
  • 价格实惠

描述

ES62X-CMPS 便携式手动探针台数据手册(PDF)

ES62X-CMPS便携式手动探针台可用于晶圆探针测量。该产品可靠性高,设计紧凑,价格实惠。测量的晶圆尺寸可达300 mm。该探针台还可用于TLP, HMM, HBM,低压浪涌, RF, S参数,以及 DC测量。探针台可与带真空泵和磁力支架的微调器配合使用,底部的绝缘卡盘有真空吸口,用于固定晶圆片。多个4 mm尺寸接头可从背面为晶圆提供电压偏置。

三目立体显微镜的放大倍数为3.5X至90X,并带有USB摄像头接口和超耐用LED照明灯。

特点:

  • 便携式手动晶圆探针台
  • 背面带真空吸口和晶圆偏置电位接头的绝缘卡盘
  • 三目立体显微镜:3.5倍 – 90倍
  • 附带5百万像素摄像头及配套软件
  • 超耐用LED环形灯
  • 高可靠性
  • 价格实惠

应用:

  •  TLP,HMM,HBM,低压浪涌,RF,S参数 , DC测量探针台
  • 适用于不同尺寸晶圆。晶圆最大尺寸为 300 mm
  • 可配用PCB磁支架。支架最大尺寸为180 X 130 mm

规格:

ES62X-CMPS-TSM 三目立体显微镜

参数 数值
单位
备注
放大倍数
3.5x – 90x
变焦能力
0.7x – 4.5x
目镜 (DIN, 30mm) WH10x20mm dB WH10x20mm 眼视目镜距离
三目口 C型 或  23mm dB
视野 2-1/2 inch
工作距离 至8 inch
镜座 双臂底部支撑
头部移动
X-, Y-, and Z-轴方向
照明类型 反射型
光源 LED 环形灯,带变阻器 mm
工作电压 110 – 240 V
尺寸 540 x 480 x 460 mm
重量 25 kg

ES62X-CMPS-WPS 晶圆探针台

参数 数值
单位
备注
晶圆卡盘直径
170 mm 可附着晶圆最大尺寸为300 mm
晶圆卡盘材质
不锈钢 上表面为镜面抛光
晶圆卡盘偏差
4 mm接头
尺寸
500 X 300 X 100 mm
重量
约 14 kg

 

ES62X-CMPS-MVP 微型真空泵

参数
数值 单位
备注
极限压力 -333 mbar
最大抽气速率
7 l/min
吸气口直径
6 mm
排气口直径
6 mm
额定电压
120 VAC
电机功率
14 W
使用寿命
3000 h
尺寸
90 X 90 X 100 mm
重量 1 kg

ES62X-CMPS-PCB 可调型磁性PCB固定器

参数 数值
单位
备注         
最大PCB尺寸
180 X 130 X 2 mm
尺寸
215 X 180 X 100 mm
重量
约14 kg

订购信息

           部件# / 选项#
说明
1 ES62X-CMPS 便携手动探针台(包含全部 1.x 部件)
1.1 ES62X-CMPS-TSM 三目立体显微镜,带USB照相机和LED光源
1.2 ES62X-CMPS-WPS 手动晶圆探针台
1.3 ES62X-CMPS-MVP 微型真空泵及配件
1.4 ES62X-CMPS-PCB 可调型磁性PCB固定器

可根据客户需求定制