ES620 便携式TLP IV-曲线测试分析系统

ES620便携式脉冲 IV-曲线测试分析系统是我们2015年研发的新一代产品。这是一款先进的便携式脉冲IV-曲线特性表征系统,用于模拟静电放电脉冲事件,例如 TLP, vf-TLP, HMM, HBM, EFT, 和 低压浪涌。系统会检测脉冲期间皮秒或纳秒级的瞬态电压和电流波形,并测试脉冲前、后被测器件的状态(漏电流,击穿电压,偏置电流,静态IV曲线,等)。可测的DUT包括静电防护器件,半导体,电路模块,触摸板传感器等。

特点:

  • 配置最灵活的TLP IV曲线脉冲测试分析系统
  • 超便携设计
  • 超快测试速度,程序并行处理
  • 目前测试版本有 25 A, 50 A,和100 A 模块
  • 高质量TLP脉冲
  • 可扩展的测试模块包括 vf-TLP, HMM, HBM, 和低压浪涌
  • 自动化故障检测方法包括:
    DC 抽查 (电压或电流), 静态IV, 熔融, 击穿, 偏置源波动, 以及客户自定义
  • 软件控制的脉冲注入: 单次, 连续, IV-曲线表征
  • 上升沿选项:60 ps 至 50 ns *(取决于模块)
  • 脉冲宽度选项: 1 ns 至 3200 ns  *(取决于模块)

描述

ES620 便携式 TLP  IV-曲线 测试分析系统数据手册 (PDF)

ES620 便携式TLP IV-曲线测试分析系统是2015年研发的新一代产品。这是一套先进的便携式脉冲IV曲线表征系统,用于模拟静电放电脉冲事件,例如 TLP, vf-TLP, HMM, HBM, EFT, and 低压浪涌。该系统可监测脉冲发生时,ps或ns量级的瞬态电压和电流波形,并测试DUT在测试前、后的状态(漏电流、击穿电压、静态IV曲线等) 。可测试的DUT包括静电防护器件,半导体,电路模块,触摸板传感器等。

系统的传输线脉冲(TLP)测试和分析功能符合 ANSI/ESD STM5.5.1-2014 测试标准。ES620系统能够向器件注入高质量矩形波脉冲,同时记录流经器件的电流和器件两端电压。测试结果能够提供脉冲式IV曲线,使用户能够表征器件在纳秒级的瞬态响应。系统还具有先进的器件失效自动化检测方法,例如漏电流测试,静态IV曲线,熔断和火花放电。

超快TLP (vf-TLP) 测试和分析功能符合ANSI/ESD SP5.5.2-2007测试标准。vf-TLP 测试用于模拟CDM速度的静电放电,捕捉高速(大约100 ps 上升沿)状态下器件的电流和电压。用户可以通过这种方法测试器件的响应速度和峰值电压。

人体金属模型(HMM) 测试和分析功能符合 ANSI/ESD SP5. 6-2009 测试方法,该方法可替代IEC61000-4-2 中系统级ESD测试方法,用于测试 IC。当测试低阻抗器件或者晶圆时,系统的该测试功能可以提供符合IEC61000-4-2标准的理想波形,并且避免许多静电放电枪测试时可能出现的问题,例如可重复性差,放电位置不精准,由未屏蔽继电器产生的EMI互扰,需要设置大接地平板和耦合板。

系统有完整的软件控制,可定制上升沿时间和脉冲宽度,与IVI仪器有良好的兼容性,体积小,价格优惠。

应用:

  • 晶圆级ESD测试
  • PCB/封装级ESD测试
  • 系统/电路 ESD 测试
  • 安全工作区 (SOA) 测试
  • 充电恢复时间测试
  • 差分ESD脉冲注入
  • 触摸屏ITO微带线熔断测试
  • 触摸屏ITO微带线火花放电测试
  • TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD STM 5.5.1-2008标准
  • vf-TLP注入电流脉冲符合并超过ANSI/ESD SP5.5.2-2007标准
  • 对于低阻抗器件,HMM的注入电流脉冲与 IEC61000-4-2 波形相符

规格:

ES620 基于传输线脉冲的 IV-曲线测试系统

参量 ES620-25 ES620-50 ES620-100 单位 备注
开路输出电压 ± 0.5 ~ 1250 ± 0.5 ~ 2500 ± 0.5 ~ 5000 V
50 Ω负载时,输出电压 ± 0.25 – 625 ± 0.5 ~ 1250 ± 0.5 ~ 2500 V
50 Ω负载时,最小电压步长
最低电压 –  40 V
0.01 0.01 0.02 V 带 46 dB 反射抑制
50 Ω负载时,最小电压步长
40V 至 最高电压
0.1 0.1 0.2 V 带6 dB 反射抑制
输出电压误差 < 5 % % 自校准后
短路输出电流 ± 0.01 ~ 25 ± 0.02 ~ 50 ± 0.04 ~ 100 A
50 Ω负载时,输出电流 ± 0.005 ~ 12.5 ± 0.01 ~ 25 ± 0.02 ~ 50 A
50 Ω负载时,峰值功率 ≥ 7.813 ≥ 31.25 ≥ 125 kW
自带TLP上升沿时间 ≤ 0.2 ≤ 0.2 ≤ 0.3 ns ES620-25可达 60 ps
其他上升沿时间选项 0.06 ~ 50 ns 与模型有关,请看表2
自带TLP 脉冲宽度 100 ± 1 ns 自定义
其他脉宽选项 1 ~ 3200 5 ~ 1000 5 ~ 1000 ns 与模型有关,请看表3
测试间隔时间 一般为0.2 ~ 2 s 与示波器,SMU和规定有关
尺寸 347 X 300 X 145 mm
重量 5 6 8 kg
I &V 直接测量 I &V 直接测量探头A6213-T1 (CT-2电流探头 和 1K T型电压探头)
可配用示波器 Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的大部分型号 其他型号可根据客户需求进行匹配支持
可配用SMU Keithley 24xx/26xx系列 SMU 其他型号可根据客户需求进行匹配支持

ES620-HMM1 扩展的人体金属模型模块
(DUT为短路, 100 Ω HMM ,基于ANSI/ESD SP5.6-2009标准)

参数 ES620-25 ES620-50 ES620-100 单位 备注
HMM 首个峰值电流 22.5 45 90 A 每千伏3.75 A ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)

30 ns时的HMM 电流  12 24 48 A ≤ ± 10 % (优于IEC 的±30% )
60 ns时的HMM 电流 6 12 24 A ≤ ± 10 % (优于IEC的 ±30% )

ES620-HBM1 扩展的人体模型模块
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2014 R=1.5 kΩ, C=100 pF)

参数 ES620-25 ES620-50 ES620-100 单位 备注
最大HBM 测试等级 ± 2 ± 4 ± 8 Kv
最小HBM 测试等级 ± 10 V
最小测试步长 1 V 通过USB,以PCB 控制
电荷泄放电阻 10 K Ohm
输出电压灵敏度 1/201 V/V 注入50 Ohm时误差小于± 3%
电流传感器灵敏度 1 V/A 注入50 Ohm时误差小于± 3%
DC 测试串联电阻
测试间隔时间 >= 1 S 根据标准,最大 1P/S
物理尺寸 90 X 90 X 130 mm

ES620-LVS1 扩展的低压浪涌模块
(TBD)

订购信息:

序号 部件# / 选项 # 说明
TLP IV-曲线测试系统基本配置
1.1 ES620-25 ES620 便携式 TLP IV-曲线测试传输线脉冲单元, 最大短路电流25 A
1.2 ES620-50 ES620 便携式 TLP IV-曲线测试传输线脉冲单元, 最大短路电流 50 A
1.3 ES620-100 ES620 便携式 TLP IV-曲线测试传输线脉冲单元, 最大短路电流 100 A
脉冲上升沿时间选项
2.1 ES620-VF 将系统固有TLP上升时间升级到最快极限值
2.2 ES62x-PRT4 程控的脉冲上升沿滤波器 X4 模块
(默认:   固有值, 1 ns, 5 ns, 10 ns, 可定制)
2.3 ES62x-PRT7 程控的脉冲上升沿滤波器 X7 模块
(默认:   固有值, 0.5ns, 1 ns, 2ns, 5 ns, 10 ns, 20ns, 可定制)
2.4 ES62x-ERTF 外接上升沿滤波器 (0.1 ~ 50 ns,可定制)
脉冲宽度选项
3.1 ES620-MPLEx 手动脉宽外接扩展更换
3.2 ES620-PPL4 程控的内部脉宽X4 模块
3.3 ES620-PPL7 程控的内部脉宽 X7 模块
外接脉冲模块选项
4.1 ES620-HBM1 人体模型(HBM) ESD 脉冲模块和测试装置

(基于ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2014 的脉冲测试及IV 测量)

4.2 ES620-HMM1 人体金属模型(HMM) ESD 脉冲模块和测试装置

( 基于IEC61000-4-2 的脉冲测试及IV 测量)

4.3 ES620-LVS1 低压浪涌脉冲模块和测试装置

( 基于IEC61000-4-5 的脉冲测试及IV 测量)

DC 偏置& 漏电流测量选项
5.1 ES62X -LTK2400 漏电流测试,搭配Keithley 2400 SMU
5.2 ES62X -LTKSEM 漏电流测试开关模块,单端口ESD注入时使用
5.3 ES62X -BTK2220 与TLP集成的程控双通道DC源,用作偏置控制
5.4 ES62X-BT1 高频响TLP测试偏置器, 300 kHz – 20 GHz, 1A DC电流
5.5 ES62X-BT2 大电流TLP 测试偏置器, 30 kHz – 6GHz, 2A DC 电流
ESD 注入和IV曲线测量选项
6.1 ES62X-CTX 用于器件测试的重叠时域反射测试装置
6.2 ES62X-VFM 用于高速VF-TLP测试的非重叠时域反射测试装置
6.3 ES62X-CMPS 便携式手动探针台,配有可灵活移动的真空泵和显微镜
6.4 ES62x-XYZR 高精度XYZ 微距调整器,带2个同轴高分辨率 100:1 (或 50:1) 可旋转探针夹具,2个固定探针夹具
6.5 ES62x-DIFESD 差分ESD注入及IV测量
6.6 ES62x-PT1 低频T型电压测量探头
6.7 ES62x-PT2 高频T型电压测量探头
TLP系统配套示波器
ES62X-OS1000 1 GHz带宽数字示波器,4通道( TLP, HMM, HBM, 和浪涌测试推荐配置)
  ES62X-OS4000 4 GHz带宽数字示波器,4通道 (VF-TLP测试推荐配置)

可根据用户需求定制

其他信息

最大短路电流

25A, 50A, 100A