ES612 ESD 测试仪 (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

特点

  • 低寄生参数,高质量脉冲
  • 可定制,可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 触摸控制面板
  • 可固件升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

描述

ES612 ESD 测试仪 (HBM,HMM,MM) 数据手册 (PDF)

1.说明

ES612 ESD测试仪是一款2管脚测试仪,为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM,HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口,可搭配数字源表等DC测试设备,较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。ES612 ESD测试仪可搭配多管脚自动化测试仪进行应用扩展,也可用作器件质检规范流程的一步。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形表现。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形,为数据分析提供可靠依据。此外,电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测,因此可进行ESD事件的损伤判定。

2.特点

  • 低寄生参数,具有高质量脉冲
  • 可定制,可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 触摸控制面板
  • 可固件升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

3.应用

  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2014
  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2009
  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2012

4.规格

ES612 控制主机

参数 ES612-2K ES612-8K ES612-12K ES612-20K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V
最小输出电压步长 1V (500V以内)

10V (2 kV以内)

1V (500V以内)

10V (8 kV以内)

1V (500V以内)

10V (12 kV以内)

1V (500V以内)

10V (20 kV以内)

V,

kV

输出电压精度  ± 1 % 或 ± 5 V %
尺寸 347 X 300 X 145 mm
重量 5 6 6 7 kg
电压、电流测量 电压、电流测量无源探头
支持的示波器 Keysight, Tektronix,Lecory主流型号示波器
支持的SMU Keithley 24xx/26xx 系列

外置人体模型(HBM )波形发生模块

参数 HBM-2K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V
放电RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路峰值电流Ips 0.67A ± 10 % per kV ns
短负荷上升时间Trs 2 < Trs < 10 ns
短负荷衰减时间Tds 1300 < Tds < 1700 ns
短负荷振铃Irs < 15% of Ips
500Ω负载峰值电流Ipr Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间Trr 5 < Trr < 25 ns

外置人体-金属模型(HMM )波形发生模块

(根据ANSI/ESD SP5.6-2009)

参数 HMM-24K 单位 备注
HMM第一峰值电流 90 A 3.75 A per 1 kV ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)

HMM电流@ 30 ns 48 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )
HMM电流@ 60 ns 24 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30%  )

5. 订购信息

编号 型号 描述
 ES612 ESD测试仪
1.1 ES612 ES612 ESD 测试仪控制主机, 最大输出电压 8 kV / 20 kV,

RS232 SCPI 通讯端口

1.2 ES612-HBM 人体模型波形发生模块(2管脚)
1.3 ES612-HMM 人体-金属模型波形发生模块(2管脚)
1.4 ES612-MM 机器模型波形发生模块(2管脚)
其他配件选项
2.1 ES62x-PC-HBM 电脑(预装脉冲及失效等级自动检测软件)
2.2 KSMU2400 数字源表, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于被测器件DC损伤检测)
2.3 ES62X-CMPS 简易手动探针台
2.4 ES62X-XYZM-TIM XYZ 微动探针座 – XYZ 行程500 mils,步进0.01mm
2.5 ES62X-XYZM-PAA PCB 探针臂套件,配备电压测量探头
2.6 ES62X-XYZM-GAA 接地探针臂套件
2.7 HBM-TC0.3 0.3 mm Pitch Test Clip
2.8 HBM-TC2.5 2.54 mm Pitch Test Clip
2.9 ES62X-XYZM-PP048 048 型号弹簧探针
2.10 ES62X-XYZM-PP075 075 型号弹簧探针
2.11 ES62X-XYZM-TN1 钨钢针