ES650自动化探针系统

扎针可能是器件测试中一个非常耗时的部分，特别是对于具有HBM多管脚数量的设备，其中大多数管脚需要用所有可能的2管脚组合进行测试。全自动测试系统可以大大提高测试效率，减少时间和测量误差。

ES650型自动探测系统是一种2针探测解决方案，适用于封装级、晶圆级和电路板级器件上的HBM、MM、TLP、HMM、CC-TLP、LI-CCDM、RP-CCDM和CDM（JS-002）测量。除ESD测试解决方案外，ES650还可单独用于其自动化探测功能，使以下探针应用达到精确自动化：射频测量、I-V曲线跟踪和许多其他需要精确探测的应用。探测系统使用两个独立控制的（左和右）XYZ机架，带有探针，用于接触芯片或晶圆上的引脚或焊盘。ES650不需要插座PCB，与基于继电器的解决方案相比，寄生效应更少。此外，该系统还支持多器件测试，可实现多器件自动分类的测试中故障检查和停止判断标准。

HBM脉冲模块提供高达8kV的可靠脉冲，能够将探针连接内部切换至SMU，以便进行泄漏测量，从而在一个解决方案中实现器件应力和故障测试。脉冲模块还可以在内部进行探针左右互换，以避免在自动测试过程中的探针交叉。

除HBM脉冲模块外，ES650还配有其他脉冲测试模块（如MM和HMM）以及CDM解决方案（如FICDM、LI-CCDM、CC-TLP和我司正在申请专利的先接触式继电器CDM方法RP-CCDM）。该系统还能够为其他测试方法提供自动化探测，如TLP、EOS、RF探测等。

2.特点

• 每个探针臂上装有高分辨率摄像头，可方便地进行探针对齐

• 高分辨率运动控制系统（步长低至1µm）

• 批量器件测试

• 漏电扫描

• 自动防撞

• 测试期间，摄像头可以捕捉探针接触

• 尺寸可定制，适合所有类型的器件测试要求

• 电流探头安装在DUT附近

• 器件定义效用

• HBM测试发生器

• 数据分析

3.应用

• 全自动2针探测系统

• 支持多种ESD标准和方法：ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017（HBM）

  • ANSI/ESDA STM5.2-2019 (MM)

  • ANSI/ESDA 6-2009 (HMM)

  • ANSI/ESDA 5.1-2016 (TLP)

  • ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 (FICDM)

  • CC-TLP (ESDA SP申请，需要VF-TLP)

  • ANSI/ESD SP5.3.3-2018 (LI-CCDM, 需要VF-TLP)

  • 正在申请专利的RP-CCDM方法

  • 可根据要求定制解决方案

4.规格