ES62X-CMPS便携式手动探针台

ES62X-CMPS便携式手动探针台可用于晶圆探针测量。该产品可靠性高,设计紧凑,价格实惠。测量的晶圆尺寸可达300 mm。该探针台还可用于TLP、HMM、HBM、低压浪涌、RF、S参数以及 DC测量。探针台可与带真空泵和磁力支架的探针座配合使用,底部的绝缘卡盘有真空吸口,用于固定晶圆片。多个4 mm尺寸接头可从背面为晶圆提供电压偏置。

特点:

  • 便携式手动晶圆探针台
  • 背面带真空吸口和晶圆偏置电位接头的绝缘卡盘
  • 三目立体显微镜:3.5倍 – 90倍
  • 附带5百万像素摄像头及配套软件
  • 超耐用LED环形灯
  • 高可靠性
  • 价格实惠

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描述

1.描述

ES62X-CMPS便携式手动探针台可用于晶圆探针测量。该产品可靠性高,设计紧凑,价格实惠。测量的晶圆尺寸可达300 mm。该探针台还可用于TLP、HMM、HBM、低压浪涌、RF、S参数以及 DC测量。探针台可与带真空泵和磁力支架的探针座配合使用,底部的绝缘卡盘有真空吸口,用于固定晶圆片。多个4 mm尺寸接头可从背面为晶圆提供电压偏置。

三目立体显微镜的放大倍数为3.5倍至90倍,并带有USB摄像头接口和超耐用LED照明灯。

2.特点

  • 便携式手动晶圆探针台
  • 背面带真空吸口和晶圆偏置电位接头的绝缘卡盘
  • 三目立体显微镜:3.5倍 – 90倍
  • 附带5百万像素摄像头及配套软件
  • 超耐用LED环形灯
  • 高可靠性
  • 价格实惠

3.应用

  •  可用于TLP、HMM、HBM、低压浪涌、RF、S参数以及 DC测量
  • 适用于不同尺寸晶圆,晶圆最大尺寸为 300 mm
  • 可配用PCB磁支架,支架最大尺寸为180 X 130 mm

4.规格

ES62X-CMPS-TSM 三目立体显微镜

参数 数值 单位 备注
放大倍数 3.5倍 – 90倍    
变焦能力 0.7倍 – 4.5倍    
目镜 (DIN, 30mm) WH10x20mm dB WH10x20mm 眼视目镜距离
三目口 C型 或 23mm dB  
视野 2-1/2 inch  
工作距离 高达8 inch  
镜座 双臂底部支撑    
头部移动 X-, Y-, and Z-轴方向    
照明类型 反射型    
光源 LED 环形灯,带变阻器 mm  
工作电压 110 – 240 V  
尺寸 540 x 480 x 460 mm  
重量 25 kg  

ES62X-CMPS-WPS 晶圆探针台

参数 数值 单位 备注
晶圆卡盘直径 170 mm 可附着晶圆最大尺寸为300 mm
晶圆卡盘材质 不锈钢   上表面为镜面抛光
晶圆卡盘偏差 4 mm接头    
尺寸 500 X 300 X 100 mm  
重量 约 14 kg  

 

ES62X-CMPS-MVP 微型真空泵

参数 数值 单位 备注
极限压力 -333 mbar  
最大抽气速率 7 l/min  
吸气口直径 6 mm  
排气口直径 6 mm  
额定电压 120 VAC  
电机功率 14 W  
使用寿命 3000 h  
尺寸 90 X 90 X 100 mm  
重量 1 kg  

ES62X-CMPS-PCB 可调型磁性PCB固定器

参数 数值 单位 备注         
最大PCB尺寸 180 X 130 X 2 mm  
尺寸 215 X 180 X 100 mm  
重量 约14 kg  

5.订购信息

编号 型号 描述
1 ES62X-CMPS 便携式手动探针台(包含全部 1.x 部件)
1.1 ES62X-CMPS-TSM 三目立体显微镜,带USB照相机和LED光源
1.2 ES62X-CMPS-WPS 手动晶圆探针台
1.3 ES62X-CMPS-MVP 微型真空泵及配件
1.4 ES62X-CMPS-PCB 可调型磁性PCB固定器

可根据客户需求定制

 

文档

ES62X-CMPS 便携式手动探针台数据手册(PDF)