CMPS-300S紧凑型手动探针台300X300 mm [待更新]

CMPS-300S紧凑型手动探针台是一种坚固耐用的晶圆探测解决方案,旨在实现高可靠性、紧凑尺寸和低投资成本。它可以手动测量高达300毫米的晶圆。探针台也可用于TLP、HMM、HBM、LV浪涌、RF、S参数和DC测量。可以连接带有真空和磁性底座的微型定位器。卡盘具有用于晶片的真空接口,并且是电隔离的。可以使用多个4mm连接器将电势连接到晶片背面。

特点:

  • 便携式手动晶圆探针站
  • 带真空接口和晶片背面电位连接器的电隔离卡盘
  • 3.5-90倍放大的三眼立体显微镜
  • 包括500万像素摄像机和软件
  • 超长寿命环形LED环形灯
  • 高可靠性
  • 低成本

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描述

CMPS-300S紧凑型手动探针台是一种坚固耐用的晶圆探测解决方案,旨在实现高可靠性、紧凑尺寸和低投资成本。它可以手动测量高达300毫米的晶圆。探针台也可用于TLP、HMM、HBM、LV浪涌、RF、S参数和DC测量。可以连接带有真空和磁性底座的微型定位器。卡盘具有用于晶片的真空接口,并且是电隔离的。可以使用多个4mm连接器将电势连接到晶片背面。

三眼立体显微镜的放大倍数为3.5倍至90倍,配有USB摄像头接口和明亮长寿命的LED环形灯。

特点:

  • 便携式手动晶圆探针站
  • 带真空接口和晶片背面电位连接器的电隔离卡盘
  • 3.5-90倍放大的三眼立体显微镜
  • 包括500万像素摄像机和软件
  • 超长寿命环形LED环形灯
  • 高可靠性
  • 低成本

应用:

  • 用于TLP、HMM、HBM、LV浪涌、RF、S参数和DC测量的通用探针台
  • 适用于不同的晶圆或平板设备,面积不超过300 X 300 mm

规格:

CMPS-TSM三眼立体显微镜

参数 数值 单位 备注
放大倍数范围 3.5x – 90x
缩放物镜倍率 0.7x – 4.5x
目镜 (DIN, 30mm) WH10x20mm dB WH10x20mm高眼点
三眼式端口 C型安装或23mm dB
视野 2-1/2 inch
光学工作距离 最高8 inch
显微镜支架 双臂吊臂支架
镜头运动 X-, Y-和Z-轴
照明类型 肉眼可见(反射)
光源 带变阻器的LED环形灯 mm
电源 110 – 240 V
尺寸 540 x 480 x 460 mm
重量 25 kg

CMPS-WPS晶圆探针台

参数 数值 单位 备注
扁平卡盘区域 300 X 300 mm 最多可连接300毫米晶圆
晶圆卡盘材料 不锈钢 顶部镜面抛光
晶圆卡盘偏置 4 mm接头
尺寸 mm
重量 kg

MVP微型真空泵

参数 数值 单位 备注
可达真空度 -333 mbar
自由空气排量 7 l/min
入口外径 6 mm
出口外径 6 mm
额定电压 120 VAC
功耗 14 W
预期寿命 3000 h
尺寸 90 X 90 X 100 mm
重量 1 kg

订购信息 [待更新]

编号 型号 描述
1
1.1
1.2
1.3
1.4

可根据要求提供定制探针测量设计

文档

ES62X-CMPS紧凑型手动探针台数据手册