ES640系列自动化(CDM)测试系统

充电器件模型(CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的C​​DM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时,通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。

ES640是一款自动化的CDM测试仪,可满足所有流行的CDM测试方法,支持场感应空气放电方法(FICDM)和接触优先(LI-CCDM, CC-TLP, RP-CCDM)方法。本测试系统包含计算机、环境控制室、精确的XYZ运动控制系统、不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。

特点

  • 高分辨率摄像头(可多达3个)可轻松进行引脚对齐操作
  • 高分辨率运动控制系统(步长低至1 µm)
  • 允许批量测试多个设备
  • 正在申请专利的CCDM方法具有更好的可重复性
  • 密闭的环境室提高了干燥单元的效率
  • 支持再生干燥单元(无需氮气)

 

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描述

1.

充电器件模型(CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的C​​DM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时,通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。

ES640是一款自动化的CDM测试仪,可满足所有流行的CDM测试方法,支持场感应空气放电方法(FICDM)和接触放电(LI-CCDM, CC-TLP, RP-CCDM)方法。本测试系统包含计算机、环境控制室、精确的XYZ运动控制系统、不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。

以下是ESDEMC ES640 CDM解决方案与其他解决方案的比较,包括Thermo Scientific Orion3 CDM测试仪、GTS Scorpion Robotic CDM测试仪、Hanwa HED-C5000R、TET Model 1100、Fraunhofer EMFT MCDM3。

2.

  • 高分辨率摄像头(可多达3个)可轻松进行引脚对齐操作
  • 高分辨率运动控制系统(步长低至1 µm)
  • 允许批量测试多个设备
  • 正在申请专利的CCDM方法具有更好的可重复性
  • 密闭的环境室提高了干燥单元的效率
  • 支持再生干燥单元(无需氮气)

3.

  • 用于封装和晶圆级测试的通用CDM系统
  • 支持许多流行的最新CDM方法:
    • ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)
    • AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)
    • AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)
    • ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM, 需要vf-TLP)
    • CC-TLP (待批准的ESDA SP, 需要vf-TLP)
    • 我司专利申请中的RP-CCDM方法
    • 可根据客户要求提供已停用或定制的解决方案
  • 机器人带电板模型(CBM)和平板ESD测试可自定义尺寸

4.规格

参数 ES640-150 ES640-300 单位 备注
最大XY 测试面积 ≥ 150 X 150 ≥ 300 X 300 mm 探针移动面积,可定制
最大DUT面积 160 X 160 375 X 425 mm
充电板面积 210 X 210 395 X 470 mm
Z 行程 ≥ 50 ≥ 150 mm
最小X, Y, Z 步长 100 nm
复位重复能力 ≤ ±6 μm
测试电压范围 ±1至2000 或 4000 V 默认2000V,可定制
测试电压阶跃 1 V
测试电压精度 ± 1% ± 0.1V % V
XY 视野分辨率 1920 X 1080 像素
垂直视野分辨率 2592 X 1944 像素
运行温度 10 至 40 °C
运行湿度(RH) 10 至 80 %
电压 120-240 VAC, 50/60 Hz VAC
N2或CDA压强 10 – 120 PSI
N2或CDA峰值用量 0.2 cfm 或0.34 m3h
300 N2箱平均用量 ~ 19 小时 持续的@40RH环境
干燥剂平均用量 ~ 24 小时 持续的@40RH环境

5.订购信息

编号 型号 描述
ES640带电器件模型(CDM)测试系统
1.1 ES640-150 通用CDM平台, 150 X 150 mm测试区域, 2 kV
1.2 ES640-300 通用CDM平台, 300 X 300 mm测试区域, 2 kV
1.3 ES640-HC 用于空气放电方法的湿度调节单元
(用户可重复使用干燥剂, 比N2或CDA的使用成本更低)
1.4 ES640-CV4 放电电压从2kV提升到4 kV
1.5 ES640-CPC 场板定制,用于固定200X300 DUT
1.6 ES640-VP1 用于固定DUT的真空泵 (可选, 软件控制)
1.7 ES640-VP2 高压尖端清洁单元(可选, 软件控制)
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 标准相关配置( 包括 AEC_Q100-011D, AEC_Q101-005A在内均遵循此标准)
2.1 ES640-JS002 JS002放电单元
2.2 ES640-JS002-C JS002/C101校准盘(小盘和大盘)
2.3 ES640-JS002-P1 JS002可替代Pogo Pin #1 (直径0.35mm)
已停用的AEC标准相关配置(不推荐用于新设计)
3.1 ES640-AEC-F 已停用的AEC Q100-011 Rev-C1_FI-CDM放电单元
3.2 ES640-AEC-D 已停用的AEC Q100-011 Rev-C1_D-CDM放电单元
3.3 ES640-AEC-C 已停用的AEC校准模块(4pF, 30pF)
接触放电CDM方案(用于放电稳定性提高的新方法,未确立标准)
4.1 ES640-RPCDM ESDEMC拥有专利的接触放电CDM方案

(非常具有可重复性的接触放电方法, 符合JS002要求, 不需要vf-TLP)

4.2 ES640-LICCDM SP5.3.3-2018 LI-CCDM放电方案

(包括放电单元, 软件支持, 需要 vf-TLP)

4.3 ES640-CCTLP DSP5.3.4 CC-TLP (至今没有发布)

(包括放电单元, 软件支持, 需要 vf-TLP)

4.4 ES640-vfTLP  用于CC-TLP或LI-CCDM方法的Vf-TLP模块

(这个vf-TLP模块是 一个用于ES640系统的vf-TLP协议. 默认配置是1 个上升时间及 1个脉宽,波形扩展有限. 如果需要更多的脉冲形状选择, ES622 TLP/vf-TLP 是最好的选择)

用于CDM系统的第三方设备
5.1 MISC-OSC6G 数字示波器 (6 GHz, 20 Gs)
5.2 MISC-OSC1G 数字示波器 (1 GHz, 5 Gs)         *用于校准则不达标

 

文档

ES640系列自动化(CDM)测试系统数据手册 (PDF)

软件

ES640 系列自动化(CDM)测试系统软件