ES622系列TLP脉冲IV曲线系统(含 HMM、HBM、MM 外部模块)

ES622 系列 TLP 脉冲 IV 曲线系统是一种先进的 IV 曲线表征系统,旨在高功率时域中模拟 ESD 事件(TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脉冲)及监控设备(半导体、分立器件、电路模块等)。ES622相比之前的ES620和ES621,规格更高,功能更多,扩展能力更强,软件体验更佳。

传输线脉冲(TLP)测试功能旨在满足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 测试标准,并将高质量矩形脉冲应用于被测器件并记录器件两端的电压和电流。可绘出脉冲 IV 曲线,允许用户在纳秒级时间窗口内表征器件的瞬态响应。设备集成了先进的自动器件故障检测方法,例如:直流抽检(V 或 I)、静态 IV 曲线、熔断、击穿和偏置源波动。

VF-TLP 测试旨在模拟 CDM 速度 ESD 事件,并在高速(例如 <100 ps 上升时间)ESD 瞬态下捕获 DUT 两端的电压和通过 DUT 的电流。这允许用户研究器件的响应速度和峰值钳位电压。

人体金属模型(HMM)测试功能是 IEC61000-4-2 系统级 ESD 的替代测试方法。它为低欧姆设备提供了理想标准波形的等效波形,并消除了组件或晶圆级测试的许多 IEC 枪测试问题,例如可重复性、枪尖不精确、阻抗不匹配、来自非屏蔽继电器的 EMI 干扰以及具有大接地平面和耦合平面的特殊装置等。

特点:

  • 最可灵活配置的 TLP 脉冲 IV 曲线系统
  • 超紧凑的设计系统
  • 具有多线程处理能力的超快测试速度
  • 提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型号(可定制)
  • 可用软件提供高级系统和附件监控和控制
    (开关寿命监视器、E-Cal 模块、示波器衰减调整)
  • 测试功能可通过 VF-TLP、HMM、HBM、MM 选项进行扩展
  • 多种故障自动检测方式
    (直流抽检(V 或 I)或 IV 扫描、熔断、击穿和偏置电流变化)
  • 软件控制脉冲:突发、连续、IV 曲线表征
  • 上升时间选项从 40 ps 到 1200 ns(取决于型号,可定制)
  • 脉冲宽度选项从 1 ns 到 2000 ns(取决于型号,可定制)

注意*:EOS 系列支持更长的脉冲应用,脉冲宽度从几百 ns 到几 ms。

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描述

1.描述

ES622 系列 TLP 脉冲 IV 曲线系统是一种先进的 IV 曲线表征系统,旨在高功率时域中模拟 ESD 事件(TLP/VF-TLP/HMM/HBM/MM 脉冲)及监控设备(半导体、分立器件、电路模块等)。ES622相比之前的ES620,规格更高,功能更多,扩展能力更强,软件体验更佳。

传输线脉冲(TLP)测试功能旨在满足最新的 ANSI/ESD STM5.5.1 测试标准,并将高质量矩形脉冲应用于被测器件并记录器件两端的电压和电流。可绘出脉冲 IV 曲线,允许用户在纳秒级时间窗口内表征器件的瞬态响应。设备集成了先进的自动器件故障检测方法,例如:直流抽检(V 或 I)、静态 IV 曲线、熔断、击穿和偏置源波动。

VF-TLP 测试旨在模拟 CDM 速度 ESD 事件,并在高速(例如 <100 ps 上升时间)ESD 瞬态下捕获 DUT 两端的电压和通过 DUT 的电流。这允许用户研究器件的响应速度和峰值钳位电压。

人体金属模型(HMM)测试功能是 IEC61000-4-2 系统级 ESD 的替代测试方法。它为低欧姆设备提供了理想标准波形的等效波形,并消除了组件或晶圆级测试的许多 IEC 枪测试问题,例如可重复性、枪尖不精确、阻抗不匹配、来自非屏蔽继电器的 EMI 干扰以及具有大接地平面和耦合平面的特殊装置等。

2.特点

  • 可灵活配置的 TLP 脉冲 IV 曲线系统
  • 超紧凑的设计系统
  • 具有多线程处理能力的超快测试速度
  • 提供 20 A、40A、50 A、100 A、125A、150 A 型号(可定制)
  • 可用软件提供高级系统和附件监控和控制
    (开关寿命监视器、E-Cal 模块、示波器衰减调整)
  • 测试功能可通过 VF-TLP、HMM、HBM、MM 选项进行扩展
  • 多种故障自动检测方式
    (直流抽检(V 或 I)或 IV 扫描、熔断、击穿和偏置电流变化)
  • 软件控制脉冲:突发、连续、IV 曲线表征
  • 上升时间选项从 40 ps 到 1200 ns(取决于型号,可定制)
  • 脉冲宽度选项从 1 ns 到 2000 ns(取决于型号,可定制)

注意*:EOS 系列支持更长的脉冲应用,脉冲宽度从几百 ns 到几 ms。

3.应用

  • ESD 性能表征
  • 晶圆/封装级ESD测试
  • 系统/电路模块ESD测试
  • 安全操作区(SOA)测试
  • 充电恢复时间测试
  • 太阳能电池板二极管特性
  • 触摸屏 ITO 微带线熔断和击穿测试

相关标准:

  • TLP / VF-TLP 选项符合 ANSI/ESD STM 5.5.1标准
  • HMM 选项符合 ANSI/ESD SP5.6标准
  • HBM 选项符合 ANSI/ESDA/JEDEC JS-001标准
  • MM 选项符合 ANSI/ESDA SP5.2标准

4.规格

ES622系列TLP单元规格表

参数 ES622-20 ES622-50 ES622-125 ES622-150 单位 *可根据要求提供特殊型号,例如 40100200+ A
开路输出电压 ± 0.5 ~ 1000 ± 0.5 ~ 2500 ± 0.5 ~ 6250 ± 0.5 ~ 7500 V  
开路最小电压步长 0.1 0.1 0.1 0.1 V  
短路输出电流 ± 0.01 ~ 20 ± 0.01 ~ 50 ± 0.01 ~ 125 ± 0.01 ~ 150 A  
电压精度 精度可在 1 – 10 % 之间调节 % 速度/精度软件可调
最快上升时间*
(默认 20-80%)
≤ 50 ≤ 200 ≤ 300 ≤ 300 ps 特殊配置可提供10-90%最快至40 ps 的上升时间
上升时间范围 0.05 ~ 1200 0.2 ~ 1200 5 ~

1200

5 ~

1200

ns  
上升时间选项 无限的可编程或手动选项   可定制
脉宽
(默认 50-50%)
100 ± 1 ns 默认
最小脉宽 0.5 1 5 5 ns  
最大脉宽 2000 2000 1500 1000 ns  
脉宽选项 无限的可编程或手动选项   可定制
测试速度 通常 0.2 ~ 2 s 因硬件设置而异
尺寸 347 W X 300 D X 145 H mm 可能因定制而改变
重量 8 8 10 12 kg  
支持的示波器 Tektronix, Agilent, LeCroy, Rigol的主要系列 其他可根据要求支持
支持 的SMU Keithley 24xx/26xx 系列 SMU 其他可根据要求支持

ES62X-HMM2 外置人体金属模型模块
(短路DUT,符合ANSI / ESD SP5.6 100 Ω HMM

参数 ES620-25 ES620-50 ES620-125 ES620-150 单位 备注
IEC等效等级 6 12 30 36 kV  
HMM 峰值电流 22.5 45 112.5 135 A 3.75 A 每 1 kV ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)

HMM 电流 @ 30 ns 12 24 60 72 A ≤ ± 10 % (优于±30% IEC)
HMM 电流 @ 60 ns 6 12 30 36 A ≤ ± 10 % (优于±30% IEC)

ES62X-HBM2 外置人体模型模块
(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001 R=1.5 kΩ, C=100 pF)

参数 ES620-25 ES620-50 ES620-125 ES620-150 单位 备注
最大 HBM 测试等级 ± 2 ± 4 ± 10 ± 12 kV  
最小HBM 测试等级   ± 50 V  
最小测试步长   1 V 通过USB,用PCB 控制
电荷泄放电阻   10 K Ohm  
电压输出灵敏度   1/201 V/V 注入50 Ohm时误差小于± 3%
电流传感器灵敏度   1 V/A 注入50 Ohm时误差小于± 3%
测试速度   >= 1 S 根据标准,最大 1P/s
物理尺寸   90 X 90 X 130 mm  

5.订购信息

编号 部件型号 描述
TLP IV曲线系统基础配置
1.1 ES622-20 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,20 A 基础单元
1.2 ES622-25 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,25 A 基础单元
1.3 ES622-40 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,40 A 基础单元
1.4 ES622-50 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,50 A 基础单元
1.5 ES622-100 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,100 A 基础单元
1.6 ES622-125 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,125 A 基础单元
1.7 ES622-150 ES622 TLP 脉冲 IV曲线系统,150 A 基础单元
上升时间选项 (仅作为案例配置展示,可供定制)
2.1 ES62x-PRT4 可编程的4个脉冲上升时间过滤器模块
(默认:   内置1 ns、5 ns、10 ns,可定制)
2.2 ES62x-PRT10 可编程的10个脉冲上升时间过滤器模块
(默认:   内置0.5ns、1 ns、2ns、5 ns、10 ns、20ns,可定制)
2.3 ES62x-ERTF 手动外部上升时间过滤器
脉宽选项(仅作为案例配置展示,可供定制)
3.1 ES620-PPL4 可编程的4个内置脉宽模块
3.2 ES620-PPL10 可编程的10个内置脉宽模块
3.3 ES620-MPLEx 手动脉宽外部变动选项

 

外置脉冲模块选项
4.1 ES62X-HBM2 人体模型 (HBM) ESD脉冲模块及测试设置选项

(ANSI/ESDA/JEDEC JS-001脉冲测试及IV测量)

4.2 ES62X-HMM2 人体金属模型(HMM) ESD脉冲模块及测试设置选项

(IEC61000-4-2 脉冲测试及IV测量)

4.3 ES62X-MM2 机器模型(MM) ESD脉冲模块及测试设置选项

(ANSI/ESDA SP5.2 脉冲测试及IV测量)

漏电或直流IV测量选项
5.1 ES62X-SSM 系统开关模块(在脉冲及直流测试间切换)
5.2 ES62X-STP1 SMU 瞬态保护器
直流偏置测量选项
6.1 BT-100V2A6G TLP测试偏置三通, 10 kHz – 6 GHz, 100V, 2 A DC/10 A 脉冲电流
6.2 BT-100V4A3G TLP测试偏置三通, 10 kHz – 3 GHz, 100V, 4 A DC/20 A 脉冲电流
6.3 BT-450V2A5G TLP测试偏置三通, 10 kHz – 5 GHz, 450V, 2 A DC/10 A 脉冲电流
ESD 注入及IV曲线测量选项
7.1 ES62X-PSTT 用于封装级标准TLP测试的TDR-O测试装置
7.2 ES62X-PVFTT 用于封装级VF-TLP测试的TDR-S测试装置
7.3 ES62X-CMPS 简易式手动探针台,配有可灵活移动的真空泵和显微镜
7.4 ES62X-WSTT 用于晶圆级标准TLP测试的TDR-O测试装置,含探针座
7.5 ES62X-WVFTT 用于晶圆级VF-TLP测试的TDR-S测试装置,含探针座
TLP系统匹配的示波器
8.1 MISC-OSC1 数字示波器( 1GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于标准TLP测试)
8.2 MISC-OSC6 数字示波器( 6GHz, 5Gs, 4通道, 推荐用于VF-TLP测试)

 

许多配置可根据客户需求定制。

文档

ES622系列TLP脉冲IV曲线系统数据手册 (PDF)