描述
1.描述
充电器件模型(CDM)静电放电是微电子电路故障的常见原因。较低电压下的CDM放电会严重损坏或损毁灵敏设备。当带静电的设备以不同的电位接触金属表面时,通常会发生这种情况。这种静电放电通常具有非常快的上升时间。
ES640是一款自动化的CDM测试仪,可满足所有流行的CDM测试方法,支持场感应空气放电方法(FICDM)和接触放电(LI-CCDM, CC-TLP, RP-CCDM)方法。本测试系统包含计算机、环境控制室、精确的XYZ运动控制系统、不同类型的CDM测试仪头以及自动测试和数据分析软件。
2.特点
- 高分辨率摄像头(可多达3个)可轻松进行引脚对齐操作
- 高分辨率运动控制系统(步长低至1 µm)
- 允许批量测试多个设备
- 正在申请专利的CCDM方法具有更好的可重复性
- 密闭的环境室提高了干燥单元的效率
- 支持再生干燥单元(无需氮气)
3.应用
- 用于封装和晶圆级测试的通用CDM系统
- 支持许多流行的最新CDM方法:
- ANSI/ESDA/JEDEC JS-002(FICDM)
- AEC Q100-011 Rev-D (遵循JS-002)
- AEC Q101-005 Rev-A (遵循 JS-002)
- ANSI/ESD SP5.3.3 (LI-CCDM, 需要vf-TLP)
- CC-TLP (待批准的ESDA SP, 需要vf-TLP)
- 我司专利申请中的RP-CCDM方法
- 可根据客户要求提供已停用或定制的解决方案
- 机器人带电板模型(CBM)和平板ESD测试可自定义尺寸
4.规格
参数 | ES640-150 | ES640-300 | 单位 | 备注 | |||
最大XY 测试面积 | ≥ 150 X 150 | ≥ 300 X 300 | mm | 探针移动面积,可定制 | |||
最大DUT面积 | 160 X 160 | 375 X 425 | mm | ||||
充电板面积 | 210 X 210 | 395 X 470 | mm | ||||
Z 行程 | ≥ 50 | ≥ 150 | mm | ||||
最小X, Y, Z 步长 | 100 | nm | |||||
复位重复能力 | ≤ ±6 | μm | |||||
测试电压范围 | ±1至2000 或 4000 | V | 默认2000V,可定制 | ||||
测试电压阶跃 | 1 | V | |||||
测试电压精度 | ± 1% ± 0.1V | % V | |||||
XY 视野分辨率 | 1920 X 1080 | 像素 | |||||
垂直视野分辨率 | 2592 X 1944 | 像素 | |||||
运行温度 | 10 至 40 | °C | |||||
运行湿度(RH) | 10 至 80 | % | |||||
电压 | 120-240 VAC, 50/60 Hz | VAC | |||||
N2或CDA压强 | 10 – 120 | PSI | |||||
N2或CDA峰值用量 | 0.2 | cfm | 或0.34 m3h | ||||
300 N2箱平均用量 | ~ 19 | 小时 | 持续的@40RH环境 | ||||
干燥剂平均用量 | ~ 24 | 小时 | 持续的@40RH环境 |
5.订购信息
编号 | 型号 | 描述 |
ES640带电器件模型(CDM)测试系统 | ||
1.1 | ES640-150 | 通用CDM平台, 150 X 150 mm测试区域, 2 kV |
1.2 | ES640-300 | 通用CDM平台, 300 X 300 mm测试区域, 2 kV |
1.3 | ES640-HC | 用于空气放电方法的湿度调节单元 (用户可重复使用干燥剂, 比N2或CDA的使用成本更低) |
1.4 | ES640-CV4 | 放电电压从2kV提升到4 kV |
1.5 | ES640-CPC | 场板定制,用于固定200X300 DUT |
1.6 | ES640-VP1 | 用于固定DUT的真空泵 (可选, 软件控制) |
1.7 | ES640-VP2 | 高压尖端清洁单元(可选, 软件控制) |
ANSI/ESDA/JEDEC JS-002-2018 标准相关配置( 包括 AEC_Q100-011D, AEC_Q101-005A在内均遵循此标准) | ||
2.1 | ES640-JS002 | JS002放电单元 |
2.2 | ES640-JS002-C | JS002/C101校准盘(小盘和大盘) |
2.3 | ES640-JS002-P1 | JS002可替代Pogo Pin #1 (直径0.35mm) |
已停用的AEC标准相关配置(不推荐用于新设计) | ||
3.1 | ES640-AEC-F | 已停用的AEC Q100-011 Rev-C1_FI-CDM放电单元 |
3.2 | ES640-AEC-D | 已停用的AEC Q100-011 Rev-C1_D-CDM放电单元 |
3.3 | ES640-AEC-C | 已停用的AEC校准模块(4pF, 30pF) |
接触放电CDM方案(用于放电稳定性提高的新方法,未确立标准) | ||
4.1 | ES640-RPCDM | ESDEMC拥有专利的接触放电CDM方案
(非常具有可重复性的接触放电方法, 符合JS002要求, 不需要vf-TLP) |
4.2 | ES640-LICCDM | SP5.3.3-2018 LI-CCDM放电方案
(包括放电单元, 软件支持, 需要 vf-TLP) |
4.3 | ES640-CCTLP | DSP5.3.4 CC-TLP (至今没有发布)
(包括放电单元, 软件支持, 需要 vf-TLP) |
4.4 | ES640-vfTLP | 用于CC-TLP或LI-CCDM方法的Vf-TLP模块
(这个vf-TLP模块是 一个用于ES640系统的vf-TLP协议. 默认配置是1 个上升时间及 1个脉宽,波形扩展有限. 如果需要更多的脉冲形状选择, ES622 TLP/vf-TLP 是最好的选择) |
用于CDM系统的第三方设备 | ||
5.1 | MISC-OSC6G | 数字示波器 (6 GHz, 20 Gs) |
5.2 | MISC-OSC1G | 数字示波器 (1 GHz, 5 Gs) *用于校准则不达标 |