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ES612 ESD TESTER (HBM, HMM, MM)

ES612 ESD测试仪 (HBM, HMM, MM)

ES612是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。

特点：

  • 低寄生参数，高质量脉冲
  • 可定制，可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 大尺寸触摸控制面板，固件可升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

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描述

1.描述

ES612是一款2管脚ESD测试仪，为晶圆、封装、PCB和系统级ESD测试而设计。该测试仪的波形可以符合HBM、HMM和MM 的相关ESD标准。测试仪上的DC特性测试端口，可搭配数字源表等DC测试设备，较为轻松的帮助确定ESD损伤阈值。

ES612 ESD测试仪的脉冲源设计和注入方法能够确保被测器件端的波形性能。该设备内置的电流探头自动抓取脉冲注入时的波形，用于确定保护电路的导通电平。此外，电压波形也可通过选配的电压探头连接示波器进行抓取。由于该设备还可扩展进行ESD波形注入前后的DC特性检测，因此可进行ESD事件的损伤判定。

2.特点

  • 低寄生参数，具有高质量脉冲
  • 可定制，可扩展
  • 可搭配探针台进行晶圆级测试
  • 外置可选配的自动故障检测模块
  • 大尺寸触摸控制面板，固件可升级
  • 可选配的自动化脉冲注入和故障测量软件
  • 可选配的脉冲IV和DC IV表征功能

3.应用

  • 用于晶圆、封装、PCB和系统级器件的通用ESD测试
  • HBM模块符合ANSI / ESDA / JEDEC JS-001-2017、MIL-STD-883和MIL-STD-750
  • HMM模块符合ANSI / ESD SP5.6-2019
  • MM模块符合ANSI / ESD STM5.2-2019

4.规格

ES612 控制主机

参数 ES612-2K ES612-4K ES612-6K ES612-8K ES612-12K ES612-20K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 4000 ± 10 ~ 6000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V
最小输出电压步长 1V (500V以内)

10V (2 kV以内)

 1V (500V以内)

10V (4 kV以内)

 1V (500V以内)

10V (6 kV以内)

 1V (500V以内)

10V (8 kV以内)

 1V (500V以内)

10V (12 kV以内)

 1V (500V以内)

10V (20 kV以内)

 V,

kV
输出电压精度 优于± 1 % 或 ± 5 V %
尺寸 347 X 300 X 145 mm
重量 5 6 6 6 6 7 kg
电压、电流测量 电压、电流测量无源探头
支持的示波器 Keysight， Tektronix，Lecory主流型号示波器
支持的SMU Keithley 2900 系列，Keithley 24xx/26xx 系列

外置人体模型（HBM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESDA/JEDEC JS-001-2017)

参数 HBM-2K HBM-4K HBM-6K HBM -8K HBM -12K HBM -20K 单位
输出电压 ± 10 ~ 2000 ± 10 ~ 4000 ± 10 ~ 6000 ± 10 ~ 8000 ± 10 ~ 12000 ± 10 ~ 20000 V
放电RC值 C: 100 pF ± 10%, R: 1.5kΩ ± 1%
短路峰值电流Ips 0.67A ± 10 % 每kV ns
短负荷上升时间Trs 2 < Trs < 10 ns
短负荷衰减时间Tds 130 < Tds < 170 ns
短负荷振铃Irs < 15% of Ips
500Ω负载峰值电流Ipr Ipr/Ips ≥ 63%
500Ω负载上升时间Trr 5 < Trr < 25 ns

外置人体金属模型（HMM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESD SP5.6-2019)

参数 HMM-8 HMM-24 HMM-36 单位 备注
HMM第一峰值电流 90 90 135 A 3.75 A每1 kV ≤ ± 10 %

IEC 61000-4-2 (R=330Ω, C=150pF)
HMM电流@ 30 ns 48 48 72 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )
HMM电流@ 60 ns 24 24 36 A ≤ ± 10 % (优于IEC标准的 ±30% )

外置机器模型（MM ）波形发生模块

(根据ANSI/ESD STM5.2-2019)

参数 MM-2 MM-4 单位 备注
输出电压 ±10 ~ 2000 ±10 ~ 4000 V
放电RC值 C: 200 pF, R: 0 Ω
短路负载峰值电流Ip1 1.75±10%每100V A 如果使用插座公差会不同
短路负载Ip2  Ip1的67% ~ 90% A
短路负载波形周期tpm 66 < tpm < 90 ns
500 Ω负载峰值电流Ipr 0.85 – 1.2 A @400V符合标准的条件
500 Ω负载I100 0.23 – 0.4 A @400V符合标准的条件
500 Ω负载I200 测量的 I100的30 -50% A

5.订购信息

 

编号 型号 描述
ESD测试仪
1.1 ES612-2K ES612 ESD测试仪, 最高2kV, 支持RS232 SCPI
  ES612-4K ES612 ESD测试仪, 最高4kV, 支持RS232 SCPI
  ES612-6K ES612 ESD测试仪, 最高6kV, 支持RS232 SCPI
  ES612-8K ES612 ESD测试仪, 最高8kV, 支持RS232 SCPI
  ES612-12K ES612 ESD测试仪, 最高12kV, 支持RS232 SCPI
  ES612-20K ES612 ESD测试仪, 最高20kV, 支持RS232 SCPI
1.2 ES612-HBM-2 人体模型2管脚模型, 2kV
  ES612-HBM-4 人体模型2管脚模型, 4kV
  ES612-HBM-6 人体模型2管脚模型, 6kV
  ES612-HBM-8 人体模型2管脚模型, 8kV
  ES612-HBM-12 人体模型2管脚模型, 12kV
  ES612-HBM-20 人体模型2管脚模型, 20kV
1.3 ES612-HMM-8 人体金属模型2管脚模型, 等同8kV HMM
  ES612-HMM-24 人体金属模型2管脚模型, 等同24kV HMM
  ES612-HMM-36 人体金属模型2管脚模型, 等同36kV HMM
1.4 ES612-MM-2 机器模型2管脚测试仪模型, 2kV
  ES612-MM-4 机器模型2管脚测试仪模型, 4kV
附件
2.1 CT-002-T 电流探头1kHz 至 2 GHz (优于Tektronix CT1 & CT2)
2.2 ES62X-CMPS 简易手动探针台
2.3 XYZM XYZ探针座, XYZ可移动500 mils, 0.01mm每个步进
2.4 XYZM-HBM HBM探针臂
2.5 XYZM-HMM HMM探针臂(47.5R)
2.6 HBM-TC0.3 0.3 mm用于IC探针封装的变桨测试夹
2.7 HBM-TC2.5 2.54 mm用于PCB探针的变桨测试夹(默认配置包含1组)
2.8 XYZM-PP048 0.48 mm用于封装级测试的弹簧针 (一包20个)
2.9 XYZM-TN1 钨钢针 – 5 mils尖头, 用于晶圆级测试 (一包10个)
第三方设备
3.1 KSMU2400 SMU, 200V, 1A, 20W, 单通道(用于设备直流自动失效检测))
3.2 OSC-1G 1 GHz BW, 5Gs/S, 4通道示波器

 

文档

ES612 ESD 测试仪 (HBM,HMM,MM) 数据手册 (PDF)