TN002 ESD靶校准方法

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1. 校准目标

本报告的目的是校准ESD目标并检查其性能,并将结果与IEC 61000-4-2标准的要求进行比较。
IEC 61000-4-2标准的要求:

1. ESD靶的输入阻抗

The Front Side of ESDEMC A4001 ESD Current Target
图1 ESDEMC A4001 ESD电流靶的正面

用于测量静电放电发生器放电电流的静电放电电流目标应在内电极和接地之间具有输入阻抗≤ 2.1欧姆@直流。

2. 目标衰减器电缆链的插入损耗

ESDEMC A4001 ESD Current Target-Attenuator-Cable Chain
图2 ESDEMC A4001 ESD电流靶衰减器线缆链

 

不是指定ESD电流目标的插入损耗,而是指定由目标、衰减器和电缆组成的测量链的插入损耗。插入损耗的变化不得超过:
+/- 0.5 dB到1 GHz
+/- 1.2 dB 1到 GHz.
插入损耗的标称值S21:
S21 = 20*log [2*Zsys/(Rin + 50 Ω) ] dB
其中,Rin是负载为50Ω时链的直流输入阻抗。

2. 测量设置和结果:

设备 制造商 型号 序列号 校准日期
网络分析仪 Agilent E8357A US42070561 08/13/2016
VNA校准配套元件 Agilent 85092C MY46180831 08/14/2016
数字万用表 Keithley 2110 1374108 07/15/2016
数字电源 Agilent E3648A MY40004580 07/20/2016
ESD靶转接头线 ESDEMC A4002 A4002-001 09/02/2016

表1. 本报告中使用的测量设备
1. 用于DC输入阻抗
应使用LCR仪表或4线源测量仪表(SMU)测量直流输入阻抗。电极应与目标输入并联。在该校准报告中,目标与20 dB衰减器、RG400电缆和50欧姆终端相连。应测量约2.00欧姆的值。
2. 用于频率响应
ESD电流目标、衰减器和同轴电缆连接到目标适配器,以确定频率响应。典型设置如图3所示:

Mount ESD Target on to Target Adapter Line and connect to VNA
图3 将ESD目标安装到目标适配器线路上,并连接到VNA

 

The Insertion Loss - S21 of ESDEMC A4001 ESD Target Chain (SN A4001-195)
图4 ESDEMC A4001 ESD目标链(SN A4001-195)的插入损耗-S21

 

 Transfer Impedance of the ESDEMC A4001 ESD Target Chain (SN A4001-195)
图5 ESDEMC A4001 ESD目标链的传输阻抗(SN A4001-195)

为了测量目标衰减器电缆链的插入损耗,使用网络分析仪测量S21。设置的S21结果如图4所示。红色虚线是ICE 61000-4-2标准的限值。因此,该ESD目标在ICE 61000-4-2标准的规范范围内。

3. 保持电流靶性能

保持电流靶性能至少每两年对当前电流靶性能进行一次验证。验证目标的直流特性就足够了。理由是,整体机械几何结构的变化非常不可能,因为它们需要很大的力。唯一可能发生损坏的地方是接头(目视检查)和电阻器处,因为靶中心导体上的力过大。如果电阻器断裂或受到其他损坏,这些变化将在直流和高频下出现。
测试可以通过向靶注入约1 a的电流来完成,同时用50欧姆终止目标。直流传输阻抗,定义为通过50欧姆终端测量的电压除以约1A的输入直流电流。其偏离预期值不得超过2%。必须注意在与电压测量点不同的两点注入电流。这是典型的4线电阻测量。建议在靶材正面注入电流,并测量靶材背面的电压。T型接头可用于同时连接直流电压表和50欧姆终端。通常,建议在直流电流的两个相反极性下进行测试,并取两个电阻读数的平均值。这抵消了不同材料触点之间可能出现的热电压的影响。由于4线4触点连接设置中耦合的噪声,只要目标安装在大接地层中,直接使用4线4触点阻抗计可能会导致不稳定的结果。建议首先在已知的低阻抗(例如1欧姆)电阻器上测试测量设置。

参考:IEC 61000-4-2标准ed2.0 – 2008